電容式精密測微測振傳感器

超高精度電容測微測振儀（最高可分辨1nm）

電容式精密位移振動變形磨損等測量系統(tǒng)

電容式動態(tài)微小振動測量系統(tǒng)

轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)靶等旋轉(zhuǎn)動態(tài)參量精密測量系統(tǒng)

智能型集成式電容測微測振傳感器

電容測微測振儀是一種精密測量儀器。它可以應(yīng)用于物體的微小位移、變形量、磨損量、膠帶涂層厚度、油膜或氣膜厚度、機械或物體的微小振動(動態(tài)頻響2.7KHz內(nèi))測量;還可應(yīng)用于彈簧高度自動分選、壓電陶瓷電致伸縮變形特性和陀螺馬達剛度測試等。該儀器系統(tǒng)已在機械加工制造與過程控制、航空航天精密測試、科研院所和高校的科學(xué)實驗研究等方面成功應(yīng)用，其測量精度、實用性和性價比均居同類產(chǎn)品前列。根據(jù)平行板電容傳感器原理可知其電容值為：C=K.s.sld(pF)。其中K為真空中介電常數(shù);為介質(zhì)相對介電常數(shù);S為極板面積;d為極板間距。、S、d只要保持兩個不變，只改變其中任一參數(shù)就可使電容C改變，因而可制成變面積S型 、變介質(zhì)介電常數(shù) 型和改變極板間距d三大類型電容式傳感器。JWZC-I型電容測微測振儀系統(tǒng)使用自己設(shè)計加工的變極距型電容傳感器。

電容測微測振電原理和傳感器結(jié)構(gòu)電氣示意圖

電容式測微測振系統(tǒng)采用運算式測量原理，是一種非接觸式測量儀器，儀器測量精度、分辨率與測量位移大小(量程)有關(guān)。在小量程范圍內(nèi)，分辨率可高達1nm。一般情況下，當(dāng)傳感器有效直徑為3(裝夾外徑為10)時，分辨率為0.1um，測量范圍可達±100um，儀器精度為0.1%～0.3%。也可以根據(jù)用戶的實際測量環(huán)境和使用對象專門設(shè)計傳感器的敏感和裝夾尺寸大小，進行個性化定制。

激光切割頭Z浮電容式位移傳感器

激光切割加工在現(xiàn)代機械加工制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛且市場前景廣闊。激光切割過程中，為了保證切割質(zhì)量，一般要求激光束焦點落在工件表面以下約三分之一板厚的地方，并在加工過程中保持不變，只有這樣才能保證最佳切割效果。因此激光焦點位置的實時檢測與控制，是激光切割加工中一項非常關(guān)鍵的技術(shù)。

由于激光束光軸方向為Z軸，機床加工平面為XY，故配備了激光自動聚焦裝置的激光切割頭一般稱之為激光切割式Z浮，它能根據(jù)工件表面的起浮驅(qū)動激光切割頭自動調(diào)整激光束的聚焦位置。激光切割式Z浮一般由切割頭一體化傳感器、微小信號檢測系統(tǒng)、計算機控制系統(tǒng)以及伺服電機組成。

目前國內(nèi)外產(chǎn)品中激光焦點位置的實時檢測大都使用電容式位移傳感器(俗稱感應(yīng)器，也是激光切割頭的噴嘴)，它能感知和實時測量激光噴嘴與切割板材的距離，從而實現(xiàn)激光焦點位置的實時檢測與控制。

實際加工中，由于工件表面的凹凸不平，表面熱變形以及電容傳感器連接電纜會產(chǎn)生寄生電容干擾等因素影響，這會使得精密位移實時測量與控制的難度大大增加，且實際解決起來問題較為復(fù)雜。

我公司基于多年從事電容傳感器產(chǎn)品的研究開發(fā)經(jīng)驗，提出了有效解決這些問題的方案。

方案一：信號轉(zhuǎn)換處理集成一體化

如下圖所示，將信號轉(zhuǎn)換處理模塊集成于傳感器切割頭的噴嘴內(nèi)，構(gòu)成真正的一體化電容位移傳感器，輸出到控制器的信號為數(shù)字量，且具有數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳功能。

信號轉(zhuǎn)換處理模塊具體包括下面幾部分功能，如下圖所示。

切割頭只需要一個4芯的連接插頭，連接電纜為高溫屏蔽電纜，與電容調(diào)高控制器連接的最大傳輸距離可達100米。

方案二：采用雙屏蔽等位環(huán)電容測微技術(shù)

如下圖所示，激光切割頭噴嘴的電容傳感器是在傳統(tǒng)的純銅噴嘴外加兩層屏蔽，即芯層(位移/電容有效信號獲取)、內(nèi)屏蔽層(保護環(huán))和外屏蔽層(大地，接機床和加工板材)，層與層之間必須絕緣。

這種重新設(shè)計加工出的噴嘴電容傳感器能有效改善傳統(tǒng)純銅噴嘴感應(yīng)器所產(chǎn)生邊緣效應(yīng)的影響，能有效提高測量精度、穩(wěn)定性和可靠性。